芯動未來 | 皖儀科技攜半導體行業(yè)三大解決方案亮相2025亞太國際半導體展覽會
2025-07-18
7月17日，2025亞太國際半導體技術暨應用展覽會在青島國際博覽中心盛大啟幕。作為亞太地區(qū)半導體產業(yè)年度技術盛會，本次展會聚焦“創(chuàng)新驅動·生態(tài)共贏”主題，設立材料設備、制造工藝、封裝測試、應用創(chuàng)新四大展區(qū)，吸引全球300余家頂尖企業(yè)參展，集中呈現(xiàn)半導體全產業(yè)鏈最新技術成果與解決方案。作為全球精密科學儀器專業(yè)供應商，皖儀科技攜全新半導體行業(yè)監(jiān)測/檢測解決方案，精彩亮相大會。
硬核方案亮相，專業(yè)觀眾互動
深耕精密科學儀器研發(fā)制造22年，皖儀科技始終以技術創(chuàng)新為刃，致力于為半導體行業(yè)提供最全面最專業(yè)的監(jiān)測/檢測解決方案。展會期間，皖儀科技展臺成為技術交流熱點，通過實物演示及解決方案展示，吸引了大量芯片制造、封測企業(yè)及研究機構等專業(yè)人士駐足交流。展會期間，同步舉行2025先進半導體技術與產業(yè)生態(tài)創(chuàng)新交流會，皖儀科技與大會深度合作，并展示AMC監(jiān)測、一站式密封性檢測、實驗室分析儀器三大核心解決方案，憑借在半導體制造關鍵環(huán)節(jié)的創(chuàng)新應用，引發(fā)行業(yè)高度關注。
展會期間，多位行業(yè)專家蒞臨皖儀科技展位交流指導。其中，中國半導體行業(yè)協(xié)會執(zhí)行秘書長王俊杰先生、中半協(xié)半導體支撐業(yè)分會秘書長石瑛女士深入展位，詳細了解了皖儀科技半導體行業(yè)解決方案，并對皖儀在半導體領域的創(chuàng)新應用表達了高度認可。此外，日本半導體制造裝置協(xié)會副事務局長佐藤富志夫先生也在創(chuàng)新交流會后與皖儀研發(fā)人員進行了深度交流。
01
AMC監(jiān)測解決方案
在半導體生產環(huán)境中，有害氣體分子污染物（AMC）是威脅產品質量與生產安全的 “隱形殺手”。皖儀科技提供專業(yè)的AMC監(jiān)測解決方案，實現(xiàn)對生產環(huán)境中亞納米至納米級AMC污染物的精準識別與實時監(jiān)控，為潔凈室環(huán)境提供嚴格保障，從源頭守護制程穩(wěn)定性與產品良率。
皖儀科技IC7000酸堿陰陽離子分析儀可以監(jiān)測物質NO、CL、F-、SO2、NH*等陰陽離子，可用于監(jiān)測刻蝕、清洗、濕法工藝等環(huán)節(jié)的污染。VM1750有機物分析儀是一款分析環(huán)境空氣中多組分VOCS的高精度儀器，可以監(jiān)測116種揮發(fā)性有機物，檢出限≤0.1ppb，可用于監(jiān)測光刻、清洗劑、外氣等環(huán)節(jié)的污染。
02
一站式密封性檢測解決方案
針對半導體電子元器件/密封件檢漏，皖儀科技提供一站式密封性解決方案，該方案由壓氦罐、檢漏罐、氦質譜檢漏儀組成，支持真空噴氦法、吸槍法等多種檢測方式。在大型半導體生產中，氦質譜檢漏儀廣泛應用于各種工藝，如刻蝕、 CVD、PVD、 真空爐、離子注入等。它能在工藝維護后迅速確認工藝完整性 和漏孔修復部位，確保次級生產中的真空管線和泵、氣柜及復雜氣體 輸送管線以及生產設施和治理的安全高效。
SFJ-16D單泵氦質譜檢漏儀，采用了自有獨特的軟件算法和經客戶驗證的真空系統(tǒng)設計，可滿足嚴苛的泄露檢測。SFJ-16F雙泵氦質譜檢漏儀，采用雙分子泵組合技術，可在量程范圍內快速響應，并在極短的時間內完成從達到開檢條件到給出測試結果，獨特設計的真空系統(tǒng)可以持續(xù)較高的氮氣抽速和響應，滿足客戶需求。
03
實驗室分析儀器解決方案
在皖儀科技分析儀器產品可應用于半導體工藝流程中的多個環(huán)節(jié)。皖儀科技離子色譜儀可用于晶圓表面、濕電子化學品、光刻膠及配套試劑、電子特氣、潔凈空氣、封測、蝕刻劑等離子態(tài)雜質分析。皖儀科技氣相、液相色譜儀，氣質、液質聯(lián)用儀可用于晶圓表面有機污染物、濕電子化學品的有機污染物、光刻膠有機物分析/配方剖析、電鍍液添加劑分析、電子電器中有害有機物、超純水有機雜質等有機污染物/有機成分分析。
賦能制造升級，共話行業(yè)未來
當前，半導體產業(yè)向更高制程、更優(yōu)性能邁進，卻面臨技術突破瓶頸與生態(tài)協(xié)同難題。皖儀科技深度融入產業(yè)生態(tài)，以專業(yè)監(jiān)測/檢測解決方案，助力攻克“卡脖子” 技術難題。從守護生產環(huán)境，到保障產品質量，從支撐研發(fā)創(chuàng)新，到促進產業(yè)鏈協(xié)同，皖儀用技術力量，為半導體產業(yè)迭代升級添磚加瓦。未來，皖儀科技持續(xù)深耕，以更多硬核方案，為半導體產業(yè)高質量發(fā)展注入 “芯” 動能，攜手共創(chuàng)全球半導體產業(yè)更璀璨的未來！
